Обучение профессии оператор диффузионных процессов в Мичуринске на 2, 3, 4, 5, 6, 7 разряд на курсах без отрыва от производства

Характеристика работ.

• Ведение процессов диффузии примесей (бора, фосфора) в кремний и создание защитных покрытий химико-термическим методом (под руководством рабочего высшей квалификации).
• Окисление пластин кремния в потоке газов и паров воды.
• Загрузка и выгрузка пластин кремния.
• Измерение температуры рабочей зоны установки и наблюдение за другими режимами с помощью контрольно-измерительных приборов и термопар.
• Изготовление шлифов на пластинах кремния и определение по ним глубины диффузии.
• Вжигание металлизированных контактов (алюминий, золото) в кремний.
• Взвешивание диффузанта и его загрузка.

Должен знать:

1. наименование, назначение важнейших частей и принцип действия установок для проведения процессов окисления;
2. назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов, ротаметров, контактных термометров;
3. методы определения толщины окислов по интерференционным полосам в сравнении с таблицей;
4. основные свойства полупроводниковых материалов (германий, кремний) и материалов, применяемых для легирования (бор, фосфор и их соединения);
5. основы теории получения р-п переходов (диодов и триодов);
6. принцип действия установок измерения удельного сопротивления четырехзондовым методом.;

Примеры работ

Характеристика работ.

• Ведение процессов окисления, диффузии примесей в один из видов полупроводникового материала на налаженном оборудовании определенного типа.
• Измерение толщины окисла и дрейфовой области кремниевых пластин.
• Изготовление косых и сферических шлифов, выявление переходов, измерение глубины р-п перехода поверхностного сопротивления и концентрации примесей.
• Контроль режима диффузионного процесса.
• Загрузка и выгрузка пластин с помощью автоматического загрузчика.
• Контроль качества пластин после диффузии и окисления.
• Комплектация (формирование) партий эпитаксиальных структур.

Должен знать:

1. устройство и способы подналадки обслуживаемых оборудования и установок;
2. методы измерения температуры в рабочей зоне установки;
3. степени осушки газа;
4. свойства газов, применяемых материалов;
5. основные законы электротехники и вакуумной техники в пределах выполняемых работ;
6. влияние различных факторов на параметры диффузионных слоев;
7. устройство приборов для контроля процесса;
8. методы измерения поверхностного сопротивления;
9. методы контроля толщины дрейфовой области.;

Примеры работ

Характеристика работ.

• Окисление и диффузия примесей в германий, кремний и арсенид галлия с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов.
• Отжиг ионно-легированных слоев.
• Ведение процесса дрейфа ионов лития в пластины кремния.
• Одновременное проведение двух процессов окисления или диффузии.
• Дозирование легирующих элементов.
• Подготовка газораспределительного пульта к работе.
• Сборка и наладка отдельных узлов газовой системы (определение точки росы и содержания кислорода в технологических газах).
• Наблюдение за температурой и другими режимами и регулирование их.
• Определение неисправностей в работе оборудования.
• Измерение электрических параметров р-п переходов, резисторов и характеристик микросхем.

Должен знать:

1. устройство установок с высокочастотным нагревом, установок дрейфа, водородной, вакуумной и силитовых печей;
2. устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов (термопар, гальванометров, осциллографов, вакуумметров и др.);
3. методы измерения температурного профиля диффузионной печи;
4. основные свойства полупроводниковых материалов (германий, арсенид галлия, кремний);
5. свойства газов (водород, азот, кислород);
6. основные свойства диффузантов;
7. режимы процесса;
8. способы и методы контроля;
9. элементарный расчет параметров диффузионных слоев;
10. основные свойства оксидных пленок, р-п, п-п переходов;
11. методы их получения и контроля.;

Примеры работ

Характеристика работ.

• Ведение сложных процессов диффузии и окисления в диффузионных печах различных типов (в том числе с программным управлением) с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов.
• Составление программ проведения процесса.
• Введение легирующих присадок в кремний, германий, арсенид галлия.
• Обслуживание печей непрерывного действия, водородной, вакуумной установок.
• Измерение электропараметров БИС, СБИС и транзисторных структур.
• Проведение элементарного расчета параметров диффузионных слоев.
• Анализ экспериментальных данных по результатам измерений параметров диффузионных слоев, окисных пленок.
• Контроль и корректировка режимов технологических процессов диффузии, окисления, отжига ионно-легированных слоев.
• Сборка, вакуумирование и отпайка кварцевых ампул с мышьяком, сурьмой, бором и их соединениями в качестве лигатуры.
• Сборка газовой системы и проверка ее герметичности.
• Определение неисправностей в работе оборудования и их устранение.

Должен знать:

1. электрические и газовые схемы обслуживаемого оборудования, правила его наладки на заданный режим;
2. правила настройки и регулирования приборов для контроля процесса;
3. очистительную систему для газов, поступающих в установку;
4. правила определения режимов работы;
5. влияние характеристик диффузионных слоев на параметры получаемых приборов.;

Примеры работ

Характеристика работ.

• Ведение сложных процессов диффузии, окисления с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов.
• Обслуживание печей и установок любого типа, в т.
• ч.
• и с программным управлением.
• Обработка экспериментальных данных, построение графиков, таблиц по статистическим данным.
• Проведение расчета концентрационного профиля, поверхностной концентрации, типа проводимости слоев.
• Самостоятельное задание режимов, самостоятельная работа на полярископе и лазерном элипсометре, определение плотности поверхностных состояний по вольт-емкостным характеристикам при изготовлении канальных БИС.
• Расчет и экспериментальное определение профиля распределения примеси.
• Работы на автоматических диффузионных установках - налаживание, корректировка режимов в процессе работы и контроль.

Должен знать:

1. конструкцию, способы и правила проверки на точность оборудования и устройств различных типов для проведения процесса диффузии;
2. теорию процессов диффузии и окисления;
3. влияние различных параметров на характеристики диффузионных слоев;
4. способы и методы определения годности переходов;
5. физико-химические свойства применяемых материалов;
6. расчеты, связанные с проведением процессов диффузии.;

Характеристика работ.

• Ведение сложных высокотемпературных процессов диффузии на оборудовании и оборудовании с микропроцессорным программным управлением с применением различных типов диффузантов.
• Ведение процесса окисления кремниевых пластин пирогенным способом.
• Расчет необходимых пропорций кислорода и водорода в их смеси.
• Одновременное проведение трех процессов окисления или диффузии.
• Выбор способа формирования диэлектрика в зависимости от назначения и требований нему.
• Получение р-п переходов и контроль их вольт-амперных характеристик на измерителе Л2-56.
• Сбор и обработка информации с помощью компьютера.
• Анализ причин возникновения брака на операциях высокотемпературных обработок и принятие мер по его устранению.

Должен знать:

1. устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования;
2. назначение и условия применения контрольно-измерительного оборудования (спектрофотометры MPVSD, "Suzfscan", ЛЭФ-3М);
3. назначение окисных пленок и диффузионных слоев и требования к ним;
4. факторы, определяющие скорость роста окислов;
5. механизмы диффузии в полупроводниках;
6. виды брака на термодиффузионных операциях, причины его возникновения и способы устранения;
7. способы получения р-п переходов и методы определения их годности.;

Примеры работ